超纯水机是在纯水机的基础上添加了更多的处理装置，生产出更高要求的超纯水。自来水经过精密滤芯和活性炭滤芯进行预处理，过滤泥沙等颗粒物和吸附异味等，让自来水变得更加干净，然后再通过反渗透装置进行水质纯化脱盐，纯化水进入储水箱储存起来，超纯水机的水质可以达到国家三级水标准，同时反渗透装置产水的废水(亦称“浓水”)排掉。反渗透纯水通过纯化柱进行深度脱盐处理就得到纯水或者超纯水，最后如果用户有特殊要求，则在超纯水后面加上紫外杀菌或者微滤、超滤等装置，除去水中残余的细菌、微粒、热源等。

超纯水机的应用领域：
理化分析的实验室：理化分析实验室实验用纯水、超纯水系统。可*替代蒸馏水器。

电子、半导体行业：制取电子工业生产如单晶硅半导体集成电路块，显象管，玻壳，液晶显示器等制造工业用纯水、超纯水机。

医药行业用水：制药、制剂工艺用水，医疗血液透析、生化分析、输液等。

锅炉水处理：石油、化工、炼油、火力发电、电力、制取热力、冶金、食品、造纸等行业中锅炉，厂矿企业高、中、低压锅炉给水所需软化水、除盐纯水。

饮料行业：饮用纯净水、蒸馏水、天然水、矿泉水、矿化水、酒类生产白酒勾兑用纯水、啤酒糖化投料用水及纯生啤酒过滤等。

宾馆、楼宇、社区**供水网络系统及游泳池水质净化。

制取电镀工艺用去离子水、电池（蓄电池）生产工艺的纯水，汽车、家用电器、建材产品表面涂装、清洗纯水，镀膜玻璃用纯水，纺织印染工艺所需的除硬盐水。

石油化工行业：如化工反应冷却、化学药剂、化肥及精细化工、化妆品制造过程用工艺纯水。